製品特長
BVC2951Uは2種類のセンサを搭載しており、一つは可視光の映像を、もう一つは放電現象を撮像します。そのため、ミラーを採用した分光イメージング技術を使い、400nmから700nmの可視光と、200nmから400nmの近紫外光領域とに分光しています。
センサは、可視光には640x480画素のセンサ、紫外光領域には超高感度UVセンサを採用しています。同一レンズを通し同じ視野で二つの映像を撮像しますので、静電破壊の発生点を正確に知ることができます。
ESDとは、静電気の放電を言い、この時200nm~400nm(UVーB)付近の近紫外光を発生します。この時発生する光のエネルギーは非常に小さく、これを検出する手段として超高感度UVセンサを使用しています。
〈主な応用例〉
● 半導体製造工程におけるプリント基板内の放電現象
● ディスプレイの生産現場
● 化学プラント等でのESDモニタリングが必要な現場
・フィルムの剥離放電 ・プラスチック製品の放電等
● 移動する作業者のESDモニタリング
● 電動工具の静電気放電
● 静電気環境における健康被害管理
● 除電機器の効果測定
● 微小なコロナ放電の可視化